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英特尔启用阿斯麦高数值孔径光刻机,18A制程技术加速推进

英特尔(Intel)正式启用阿斯麦(ASML)首批两台高数值孔径光刻机,一个季度内生产3万片晶圆,18A制程加速推进,新设备可靠性为前代两倍,仅需一次曝光

·经纪商观察

关键词:英特尔, 阿斯麦, High-NA, 18A

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