提到光刻機,就繞不開ASML,因為其研發制造的光刻機幾乎占領了中高端市場,尤其是EUV光刻機,更是生產制造7nm等芯片的必要設備。
但由于瓦森納協議的存在,ASML的EUV光刻機不能自由出貨,芯片等被修改后,EUV光刻機也不能向外企中國分廠出貨。
即便是DUV光刻機,也只能向特定的廠商出貨,這就導致很多芯片企業紛紛選擇新出路。
例如,日本廠商聯合推出了NIL工藝,可以將芯片制程縮小至5nm;先進的封裝工藝和堆疊技術芯片也隨著出現,不用改變芯片制程,卻能將性能大幅度提升。
新工藝、新技術不斷出現,這降低了對ASML光刻機的需求,但美仍要求ASML進一步收緊國際主流光刻機的出貨,結果遭到了ASML的反對。
盡管ASML一直都在努力實現自由出貨,提升EUV光刻機的普及率,但現實是,ASML的時代正在劃上“句號”,一切都在發生中。
首先是光電芯片技術。
光電芯片不同于傳統的硅芯片,其具備更快的傳輸速度和承載量,更適合光通訊和萬物聯網時代,很多廠商都將光電芯片視為硅芯片的替代產品。
在光電芯片領域,華為處于領先地位,已經在該領域內布局十年,并計劃在英投資10億英鎊建設全球研發中心。
芯片等規則被修改后,光電芯片發展速度再次提升,因為光電芯片可以完全繞開美芯技術。
荷蘭投資11億歐元研發光電芯片,欲打造另外的一個ASML,換句話說就是光電芯片技術更先進,更適合未來,關鍵還是還能夠自由出貨。
其次,ASML承認NA已經到了盡頭。
ASML的光刻制造技術最為先進,目前的EUV光刻機可以將芯片制程縮小到3nm,甚至是2nm,但難度卻不斷提升。
ASML正在研全新一代Hihg NA EUV光刻機,孔徑值為0.55,其可以將芯片制程縮小到2nm以下,達到1.8nm,甚至更小。
ASML已經正式對外宣布,將會在明年某個時間點交付High NA EUV光刻機,但ASML認為High-NA 將是最后一個NA,當前半導體光刻技術之路或已走到盡頭。
另外,ASML方面還表示正在研究降低波長,但他個人不認為 Hyper-NA 是可行的,他們正在對其進行研究。
這就意味著High NA EUV光刻機將會是最后一個升級型號,未來不會有精度更好的NA 光刻機出現,雖然ASML也在研發其它技術,但目前沒有方案。
最主要的是,ASML之前也明確表示High NA EUV光刻機之后,將會把重點放在環保方面,說白就是降低功耗,節約能源。
最后,亞納米分辨率光刻機出現,但并非A研發制造。
0.768納米光刻機誕生,但這并非ASML研發制造,而是一家名為Zyvex Labs的原子精密制造技術推出的。
據了解,該公司并沒有用EUV技術,而是采用了電子束光刻機方式,可以制造出來0.768納米線寬的芯片,這是ASML光刻機技術無法達到的精度。
關鍵是,0.768納米光刻機并非實驗室產品,而是一款可以量產的產品,用戶下單后就能夠在6個月內拿到該光刻機。
要知道,ASML全新一代High NA EUV光刻機的精度在1nm以上,預計交付時間是明年某個時間點,還沒有準確的時間表。
總結一下就是,光電芯片正在成為新趨勢,而ASML表示High NA EUV光刻機將是盡頭,而更先進的0.768納米光刻機又出現了。
所以才說ASML的時代正在劃上“句號”,一切都在發生中。
本文轉自:白蘿卜科技
暂无相关记录



