國產量測設備進程如何？上海睿勵公布結果，適用于5nm

在各地加速造芯，推動復工復產的關鍵時刻，各大廠商開啟了公開招標。也經過這一輪又一輪的招標讓我們明白國產半導體設備有哪些玩家，在怎樣的賽道上進行布局。

而且從國產廠商中標情況了解到國產半導體設備有怎樣的框架。其中量測設備也成為了世人

的一個焦點，因為中芯國際等國內廠商占據量測設備40%以上的年需求。

在這項設備中，國內一些廠商已經做到了100%國產化，不僅支持5nm工藝，還進入了三星生產線。

哪家廠商做到了這一點呢？除了單個廠商之外，國產距離5nm全套生產線，還有多遠？

國產量測設備進程

芯片制造是一個龐大的系統性工程，每一個環節，步驟都會用上不同的半導體設備。大部分人只知道光刻機非常重要，可以在芯片上把設計好的圖形給復刻出來。

通過納米級別的光源，完成精細的芯片加工作業。可是芯片制造不僅僅只有光刻這一項流程，其它工藝環節所用的刻蝕機、清洗機、薄膜沉積、離子注入機等等都是缺一不可的。

芯片生產線整套環節下來，至少需要幾十種半導體設備同時配合。正所謂不積跬步無以至千里，國產半導體設備發展的目標可以先一步一個腳印，先從細分領域開始，再逐步組成整體。

目前國產刻蝕機可以能做到了5nm的水準，由中微半導體公司完成制造。中微也是全球最大的刻蝕機設備供應商之一。但其實在量測設備領域，國產也做到了5nm的程度，是由上海睿勵完成突破的。

在了解這家公司之前，需要明白量測設備是什么，又能發揮出怎樣的作用。

一款芯片在投入量產的情況下，需要確保足夠的產能。而決定產能的關鍵因素就在于芯片良率。芯片良率如果能達到90%以上，就說明100塊芯片里面有90塊芯片是可用的。

這樣的良率可以大大節約成本，提高產能。但是如何判斷這100塊芯片里面有哪些芯片可用，就需要用上量測設備了，量測設備可以檢測芯片是否符合標準。

國內有不少廠商均入局了量測設備，如中科飛測，精測電子以及上海睿勵。其中上海睿勵的量測設備已經可適用于5nm工藝了。

根據上海睿勵官網公布的產品展示結果可知，光學薄膜測量設備TFX4000i/TFX4000i UT+可實現前后段的集成電路制造覆蓋，適用工藝包括40nm到5nm。以及在存儲工藝領域的10nm級DRAM，3D NAND都能提供支持。

由此可見，上海睿勵不僅將適用工藝領域擴大到成熟到高端先進，也能在更全面的生產線上得到良好發揮。

得益于產品的出色，上海睿勵的量測設備在市場上也受到了不少

，并順利進入了三星生產線。在核心技術方面這一塊，做到了100%國產化。

該公司從2005年成立以來，就堅持自主研發，在產業鏈中發揮出關鍵作用。目前上海睿勵已經成為國產量測設備的一大產業支柱，除了在光學薄膜測量設備有深入部署之外，公司其它的光學關鍵尺寸測量設備，缺陷檢測設備也是主力產品。

從上海睿勵身上可以看出國產量測設備的進程，都是從無到有，從空白到豐富產業，為國產芯片設備供應鏈增添光彩。

國產距離5nm全套生產線，還有多遠？

半導體設備市場有非常多的細分領域，由于芯片制造過程復雜，不可能由一種設備完成所有的流程。大家

較多的光刻機只是其中之一，對于組建完整的生產線而言，依然需要全套生產線的支持。

既然已經有相應的國產芯片設備能適用于5nm，那么國產距離5nm全套生產線，還有多遠呢？

縱觀這幾年的國產半導體設備發展，能夠做到5nm工藝級別的設備廠商并非沒有。包括前面提到的中微半導體可以實現5nm刻蝕機工藝。

除此之外，鄭州交通信息技術研究院也做出過支持5nm DBG工藝的12寸晶圓激光開槽設備，可以實現超精細的晶圓激光切割。

還有在靶材領域，江豐電子突破超高純金屬濺射靶材，同時在可用于5nm的5nm FinFET (FF+)技術有深厚積累。

除了供應鏈的廠商突破，基礎理論研究也有清華大學，中科院這些高校，科研機構參與EUV技術的研究。

至于芯片設計就更不用說了，國內已經有一些廠商可以設計出5nm制程芯片。

雖然有一些5nm生產線的基礎，但對于組建5nm全套生產線，還有很大的進步空間。究竟有多遠，相信在持續取得進步的情況下，一定能迎來最終的破局。

寫在最后

100%國產芯片設備誕生，上海睿勵的量測設備在業內都是備受矚目的。而這更大的國產半導體供應鏈市場上，許多廠商也在加緊技術研發，推進產品落地。期待能有更多的突破進展。

對此，你們怎么看呢？歡迎留言和轉發。

本文轉自:青源科技談