ASML之后，日本光刻膠巨頭也表態了：中國難以掌握EUV技術

國內正在加速半導體產業的步伐，甚至在EUV光刻機領域也有布局。不過面向頂級的EUV極紫外光刻機技術，國外巨頭卻有不一樣的表態。ASML稱中國不太可能造出頂級光刻機，但也別那么絕對。

而日本光刻膠巨頭JSR也表態了，表示中國難以掌握EUV技術。這些國外廠商的表態和實際情況有怎樣的區別呢？若真如對方所說，又該如何破局呢？

EUV光刻機的全球化

中國半導體產業鏈已經邁入了新的階段，正在積累更多的人才，產業鏈和生態系統等等一系列的環節儲備。

而帶來的進步和突破也是顯著可見的，如上海微電子實現3D/2.5D封裝光刻機的出貨，國望光學加速曝光系統生產基地的建設等等，另外中科院也在招募與EUV研究有關的人才推進研究。

很多人都對EUV光刻機的生產制造難度，產業鏈條件等進行科普。

包括中國院士吳漢明也直言，單獨讓一個國家，地區獨立造EUV光刻機是不現實的，因為會用上十萬個零部件，超過5000家供應商。同時各國的技術占比多少，最后吳漢明院士總結EUV光刻機是全球化的結晶。

從產業鏈的角度來看，EUV光刻機的確離不開全球化的支持，若沒有各國頂級技術的供應，ASML哪怕知道原理，明白各個生產制造流程，也未必能造出EUV光刻機。

就好比一位大廚，可以做出美味的菜肴，可是沒有鍋碗瓢盆，調味品等必要工具，也是束手無策。讓這位大廚同時具備制造這些工具的方法，顯然沒那么容易。同樣的道理，EUV光刻機集成全球頂級科技。

ASML，JSR的接連表態

而現如今國產半導體產業鏈的布局越來越深入，甚至隱隱朝著EUV極紫外光技術靠攏，這也引起了國外巨頭不一樣的表態。

首先ASML首席執行官溫彼得表示，中國不太可能造出頂尖光刻機。或許是對自己的話沒有那么自信，溫彼得還強調“但也別那么絕對，物理定律在中國同樣有效。”

ASML作為全球唯一掌握EUV光刻機制造技術的廠商，說出這句話便迅速引起了業內的話題討論。但是在ASML之后，日本光刻膠巨頭JSR也表態了。

據JSR首席執行官埃里克約翰遜表示，雖然中國在推進芯片自給自足，但缺乏基礎設施，難以掌握EUV光刻的復雜芯片制造技術。

在日本壟斷全球光刻膠市場的隊列當中，JSR是其中一員。該公司不僅掌握EUV光刻膠的技術實力，而且在ArF光刻膠市場份額中占據世界第一。

ASML，SJR的表態和實際情況的區別

和ASML一樣，SJR也做出了類似的表態。二者在各自的EUV光刻機，光刻膠領域內都有絕對的影響力。那么關于二者的表態，和實際情況有怎樣的區別呢？或者說是否言之鑿鑿還是空中樓閣。

要想弄清楚這一點，就需要明白國產半導體產業具備怎樣的產業鏈技術積累。

拋開主觀因素，僅從現有的產業鏈發展情況來看，可以用“大而不強”來形容。

“大”是因為有豐富的產業鏈支持，不管是光刻膠還是光刻機，并且細分到光學系統、物鏡系統、雙工件臺、控制系統這些光刻機四大件，都有相應的國產廠商參與布局。

背后有來自華卓精科、國望光學、上海微電子、科益虹源這些廠商入局，且都有一定的技術積累。

至于“不強”，大抵就是如國外廠商所說，基礎設施，生態系統的整體發展節奏還有待持續提升。這里的生態系統，指的是提供高端芯片制造的必要材料，不僅僅是半導體設備這些基礎設施，還有頂級的EUV光刻膠，電子特氣以及工業軟件等等。

觀察國產光刻膠產業，國內較為矚目的南大光電已經實現了ArF光刻膠的客戶驗證，還拿到了小批量訂單，但是對應的制程工藝為55nm。

就這些情況而言，是否意味著ASML，JSR的表態和實際情況貼切呢？也許確有長遠的發展進步空間，但對方忽略了一個重要因素，那就是基于對自主產業鏈發展的信念和堅定目標。

在過去幾十年的歷程中，有多少人同樣是站在ASML，JSR目前的角度看問題，也覺得不可能。

可時間證明了一切，北斗衛星、盾構機、手撕鋼哪一個不是歷經艱難險阻并最終實現破冰的。不僅打破國外壟斷，而且還面向全球市場占據極大影響力。

所以市場客觀條件未必不會改變，至于該如何破局，可以遵守厚積薄發，穩扎穩打。用時間去積累更多的產業經驗，技術和人才。也許一時半會ASML和SJR的表態與實際情況區別不大，可是別忘了事在人為，別輕易下結論。

寫在最后

EUV光刻機是全人類智慧的結晶，就連ASML也無法脫離全球化獨自造出EUV光刻機。可是沒有什么事情是絕對的，哪怕已經是板上釘釘的事情，在將來也會發生改變。到時候ASML，JSR可能就要收回如今說的話了。

對此，你們怎么看呢？歡迎留言和轉發。

本文轉自:青源科技談